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nanolithography：纳米平板印刷术

纳米平板印刷术（Nanolithography）是微观级的蚀刻、书写或者印刷的艺术和科技，它们的字的大小能用纳米来衡量。制造原子级别的集成电路时右几种方法可以在原子级修改半导体芯片。

　　纳米平板印刷术使用的工具有扫描探针显微镜和原子力显微镜。SPM能在不经过修改的情况下高清晰的进行表面观察。SPM或ATM可以用于在单原子大小表面的蚀刻、书写或者印刷。同见纳米机械和纳米技术。

　　另请参见纳米技术（nanotechnology）和纳米机器（nanomachine）。

最近更新时间：2008-06-17 EN

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